ESP微傳感器及係統的課題申請4項發明專利
來源： http://www.98fo.cn/ 類別：行業資訊 更新時間：2013-04-27 閱讀次
【本資訊由中國糧油儀器網提供】 近日，先進製造領域863課題“汽車電子穩定程序（ESP）微傳感器及係統”項目宣布取得成果，研發出了具有自主知識產權的汽車用ESP儀器係統。
據悉，課題組研究人員針對汽車電子應用需求，對MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結構進行了優化設計，開發出了基於體矽SOI和圓片級封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計芯片，攻克了數字化陀螺儀電路設計和加速度計ASIC電路設計技術和預成型空腔塑封封裝技術，研製出了自主知識產權的ESP用MEMS陀螺儀和加速度計產品。
據介紹，在研發過程中，課題組突破了6英寸MEMS傳感器芯片工藝技術。在傳感器芯片的製造過程中，采用了PCM監控和SPC控製技術，實現了微傳感器關鍵工藝參數的在線監測，建立了微傳感器圓片在片自動測試平台，掌握了MEMS傳感器批量化製造技術，MEMS陀螺儀芯片加工成品率達到80%，MEMS加速度計芯片成品率達到90%。課題研製出的基於MEMS陀螺儀和加速度傳感器的汽車ESP係統，完成了硬件和算法的初步研究、ESP係統的匹配試驗和搭載驗證和ESP係統的路試和抗幹擾試驗。同時還通過實驗，驗證了MEMS傳感器的性能與可靠性，這兩項指標滿足了ESP係統的要求。
據悉，截至目前，該課題已申請4項發明專利。
據悉，課題組研究人員針對汽車電子應用需求，對MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結構進行了優化設計，開發出了基於體矽SOI和圓片級封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計芯片，攻克了數字化陀螺儀電路設計和加速度計ASIC電路設計技術和預成型空腔塑封封裝技術，研製出了自主知識產權的ESP用MEMS陀螺儀和加速度計產品。
據介紹，在研發過程中，課題組突破了6英寸MEMS傳感器芯片工藝技術。在傳感器芯片的製造過程中，采用了PCM監控和SPC控製技術，實現了微傳感器關鍵工藝參數的在線監測，建立了微傳感器圓片在片自動測試平台，掌握了MEMS傳感器批量化製造技術，MEMS陀螺儀芯片加工成品率達到80%，MEMS加速度計芯片成品率達到90%。課題研製出的基於MEMS陀螺儀和加速度傳感器的汽車ESP係統，完成了硬件和算法的初步研究、ESP係統的匹配試驗和搭載驗證和ESP係統的路試和抗幹擾試驗。同時還通過實驗，驗證了MEMS傳感器的性能與可靠性，這兩項指標滿足了ESP係統的要求。
據悉，截至目前，該課題已申請4項發明專利。
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